高纯气体输送系统

在泛半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程环节都需要使用各种超高纯气体，由于超高纯气体在生产过程中与产品直接接触，因此超高纯气体输送系统是集成电路、平板显示、半导体照明、太阳能光伏和光纤制造等泛半导体行业中最关键的厂务系统之一。

如何避免输送过程中系统对超高纯气体的二次污染便成为超高纯气体输送系统的首要考量。另外，泛半导体行业所使用的各类特殊气体通常具有易燃、易爆、剧毒、腐蚀、窒息等各种危险特性。同时，由于泛半导体行业工艺复杂先进，对超高纯气体的质量保障和系统稳定运行提出了严苛的要求。因此，在超高纯气体输送系统的设计、安装和运行过程中需要充分考虑洁净度、安全性、稳定性等关键因素。

  因此，超高纯气体输送系统在系统开机调试之前必须通过保压测试、氦检漏测试、水分增量测试、氧分增量测试、颗粒度增量测试来保证系统的高洁净度和高安全度。